簡(jiǎn)要描述:美國(guó)派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥:二級(jí)減壓調(diào)壓閥,為高壓超高純度(UHP)應(yīng)用而設(shè)計(jì)。該系列產(chǎn)品擁有優(yōu)異的穩(wěn)定性并降低供給壓力作用的影響 - 不管入口壓力如何波動(dòng),出口壓力保持穩(wěn)定。
產(chǎn)品分類
Product Category品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,交通 |
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美國(guó)派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥產(chǎn)品概覽:
派克Veriflo部門的735W和NPR735W(亞大氣壓)系列閥門,是為高壓氣體分配系統(tǒng)而設(shè)計(jì),特別是用于超高純度(UHP)半導(dǎo)體制造操作系統(tǒng)。 該系列產(chǎn)品適用于惰性和腐蝕性氣體,具有二級(jí)隔膜設(shè)計(jì),可大限度地減少供給壓力的影響; 因此,無論入口壓力如何波動(dòng),都能提供穩(wěn)定的出口壓力。
735W系列調(diào)壓閥具有*的壓縮構(gòu)件,其在潤(rùn)濕區(qū)域無螺紋,從而提高泄漏完整性,并減少顆粒的產(chǎn)生和截留的風(fēng)險(xiǎn)。此種調(diào)壓閥配有100級(jí)潔凈室,由Veriflo專有的Vericlean™ 316L不銹鋼制成,并帶有PCTFE(聚三氟氯乙烯)或者 Vespel®(聚酰亞胺)閥座。這些材料,標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升閥相結(jié)合在一起,使調(diào)壓閥入口壓力高達(dá)3,500 psig時(shí)都能保有其的耐腐蝕性和清潔度。閥座還具有自定位設(shè)計(jì),可做重復(fù)有效關(guān)閉,穩(wěn)定的密封性,以及精確的壓力調(diào)節(jié)。它通過集成的過濾網(wǎng)保護(hù)其不受上游氣缸帶來的污染。
735W系列調(diào)壓閥,當(dāng)閥座出現(xiàn)泄漏時(shí),閥門關(guān)閉以阻隔帶有腐蝕性或有害氣體泄漏,并且通過消除下游潛在的聚積高壓而提高安全性。調(diào)壓閥內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行內(nèi)外部氦氣泄露檢測(cè),以確保在苛刻的要求清潔度的UHP應(yīng)用中,保有其性能和可靠性。
市場(chǎng):
• 半導(dǎo)體
• 分析實(shí)驗(yàn)室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):
• *的壓縮構(gòu)件無需螺紋穿孔將密封與本體連接在一起
• 高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕性付務(wù))
• 內(nèi)部彈簧設(shè)計(jì)小化顆粒的產(chǎn)生和氣體截留
• 金屬對(duì)金屬隔膜到閥體的密封確保高泄漏完整性
• 內(nèi)部泄漏率:<2 x 10-9 scc/sec He (額定)
• 外部泄漏率:<2 x 10-10 scc/sec He
• 全壓力范圍使用:從真空到3,500 psig (NPR735W可用于亞大氣壓的壓力控制)
• Cv 0.04
• 標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光
應(yīng)用:
• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具連接
• 燃?xì)夤?br/>• 閥組箱(VMB)
• 上游工藝管線
美國(guó)派克PARKER隔膜減壓調(diào)壓閥技術(shù)規(guī)格:
性能特點(diǎn)
閥體材料 316L 不銹鋼
壓縮構(gòu)件材料 316L不銹鋼(標(biāo)準(zhǔn)),哈氏合金 C-22
隔膜材料 316L不銹鋼(標(biāo)準(zhǔn)),哈氏合金 C-22
閥座材料 PCTFE聚三氟氯乙烯(標(biāo)準(zhǔn)),聚酰亞胺(Vespel)
閥芯材料 316L不銹鋼(標(biāo)準(zhǔn)),哈氏合金 C-22
316L不銹鋼(標(biāo)準(zhǔn)),Inconel合金
閥芯網(wǎng)材料 哈氏合金 C-22®
帽材料 黃銅鍍鎳
螺母材料 316L 不銹鋼
旋鈕材料 ABS樹脂
爆破壓力 10,500 psig (724 barg)
可承受壓力 5,250 psig (362 barg)
流速 Cv: 0.04
內(nèi)部泄漏率 < 2 x 10-9 scc/sec He
外部泄漏率 < 2 x 10-10 scc/sec He
體積 10. 10 (without fittings) cm3
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